Измерение проводимости эпитаксиальных полупроводниковых пленок на сильнолегированных подложках

Authors

  • Ю.Е. Гордиенко
  • Ю.И. Гуд

Abstract

Показана возможность измерения проводимости эпитаксиальных полупроводниковых пленок на сильнолегированных подложках с помощью СВЧ-резонаторного датчика, работающего на волне Но1п при соответствующем увеличении чувствительности измерения параметров пленок. Измерение удельного сопротивления пленок при этом сводится к измерению реактивной части импеданса исследуемой двухслойной структуры. Приводятся выражения, определяющие погрешность измерения толщины и удельного сопротивления пленки данным методом (в случае однопараметровых, совместных и независимых измерений) и пределы его применимости.

Downloads

How to Cite

Гордиенко, Ю., & Гуд, Ю. Измерение проводимости эпитаксиальных полупроводниковых пленок на сильнолегированных подложках. Radiotekhnika, 4(31), 81–87. Retrieved from http://rt.nure.ua/article/view/212870

Issue

No. 31 (1974): Radiotekhnika

Section

Articles

License

Authors who publish with this journal agree to the following terms:

1. Authors retain copyright and grant the journal right of first publication with the work simultaneously licensed under a Creative Commons Attribution License that allows others to share the work with an acknowledgement of the work's authorship and initial publication in this journal.

2. Authors are able to enter into separate, additional contractual arrangements for the non-exclusive distribution of the journal's published version of the work (e.g., post it to an institutional repository or publish it in a book), with an acknowledgement of its initial publication in this journal.

3. Authors are permitted and encouraged to post their work online (e.g., in institutional repositories or on their website) prior to and during the submission process, as it can lead to productive exchanges, as well as earlier and greater citation of published work (See The Effect of Open Access).