Измерение диэлектрической проницаемости полупроводниковых пленок на изолирующих подложках

Authors

  • Ю.Е. Гордиенко
  • В.Л. Костенко

Abstract

Выводятся расчетные соотношения для определения диэлектрических параметров тонких полупроводниковых пленок на изолирующих подложках, помещенных в цилиндрический N011-резонатор на основании метода малых возмущений. Показано, что пренебрежение действием подложки толщиной около 2·10-3 lв вносит систематическую погрешность, превышающую +10%. Рассматриваются случаи, когда диэлектрические параметры образца и подложки сравнимы и существенно различны. Справедливость полученных расчетных формул подтверждается экспериментальными исследованиями.

Downloads

How to Cite

Гордиенко, Ю., & Костенко, В. Измерение диэлектрической проницаемости полупроводниковых пленок на изолирующих подложках. Radiotekhnika, 2(21), 201–206. Retrieved from http://rt.nure.ua/article/view/210517

Issue

No. 21 (1972): Radiotekhnika

Section

Articles

License

Authors who publish with this journal agree to the following terms:

1. Authors retain copyright and grant the journal right of first publication with the work simultaneously licensed under a Creative Commons Attribution License that allows others to share the work with an acknowledgement of the work's authorship and initial publication in this journal.

2. Authors are able to enter into separate, additional contractual arrangements for the non-exclusive distribution of the journal's published version of the work (e.g., post it to an institutional repository or publish it in a book), with an acknowledgement of its initial publication in this journal.

3. Authors are permitted and encouraged to post their work online (e.g., in institutional repositories or on their website) prior to and during the submission process, as it can lead to productive exchanges, as well as earlier and greater citation of published work (See The Effect of Open Access).