Возможность получения пленок тантала с поверхностным удельным сопротивлением больше 1000 ом/кв

Authors

  • А.М. Корнев
  • В.П. Николаев
  • Л.Д. Слюсар

Abstract

Предлагается метод получения тонкопленочных танталовых резисторов, удельное поверхностное сопротивление пленок которых может принимать значения от 1000 до 8000 ом/кв, основанный на процессе термического окисления. Определено, что при термическом окислении величина роста (во времени) удельного поверхностного сопротивления пленок зависит от температуры окружающей среды. Приведен ряд зависимостей электрических параметров тонких пленок тантала, подвергшихся термическому окислению, от величины поверхностного удельного сопротивления.

Downloads

How to Cite

Корнев, А., Николаев, В., & Слюсар, Л. Возможность получения пленок тантала с поверхностным удельным сопротивлением больше 1000 ом/кв. Radiotekhnika, 4(19), 176–179. Retrieved from http://rt.nure.ua/article/view/210357

Issue

No. 19 (1971): Radiotekhnika

Section

Articles

License

Authors who publish with this journal agree to the following terms:

1. Authors retain copyright and grant the journal right of first publication with the work simultaneously licensed under a Creative Commons Attribution License that allows others to share the work with an acknowledgement of the work's authorship and initial publication in this journal.

2. Authors are able to enter into separate, additional contractual arrangements for the non-exclusive distribution of the journal's published version of the work (e.g., post it to an institutional repository or publish it in a book), with an acknowledgement of its initial publication in this journal.

3. Authors are permitted and encouraged to post their work online (e.g., in institutional repositories or on their website) prior to and during the submission process, as it can lead to productive exchanges, as well as earlier and greater citation of published work (See The Effect of Open Access).