Гнап А, Дущенко В, Дубровин Ю. Ионная имплантация как метод получения полупроводниковых конденсаторов с заданными вольт-фарадными характеристиками. RT [Internet]. [cited 2024May18];4(31):97-103. Available from: http://rt.nure.ua/article/view/212875