Корнев, А.М., В.П. Николаев, and Л.Д. Слюсар. “Возможность получения пленок тантала с поверхностным удельным сопротивлением больше 1000 ом/кв”. Radiotekhnika 4, no. 19: 176–179. Accessed November 22, 2024. http://rt.nure.ua/article/view/210357.