Корнев, А., Николаев, В. and Слюсар, Л. “Возможность получения пленок тантала с поверхностным удельным сопротивлением больше 1000 ом/кв”, Radiotekhnika, 4(19), pp. 176–179. Available at: http://rt.nure.ua/article/view/210357 (Accessed: 8April2025).