Гнап, А., Дущенко, В., & Дубровин, Ю. Ионная имплантация как метод получения полупроводниковых конденсаторов с заданными вольт-фарадными характеристиками. Radiotekhnika, 4(31), 97–103. Retrieved from http://rt.nure.ua/article/view/212875