Измерение проводимости эпитаксиальных полупроводниковых пленок на сильнолегированных подложках - Гордиенко, Ю.Е.; Гуд, Ю.И. (Radiotekhnika)
Показана возможность измерения проводимости эпитаксиальных полупроводниковых пленок на сильнолегированных подложках с помощью СВЧ-резонаторного датчика, работающего на волне Но1п при соответствующем увеличении чувствительности измерения параметров пленок. Измерение удельного сопротивления пленок при этом сводится к измерению реактивной части импеданса исследуемой двухслойной структуры. Приводятся выражения, определяющие погрешность измерения толщины и удельного сопротивления пленки данным методом (в случае однопараметровых, совместных и независимых измерений) и пределы его применимости.